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진공부품 - EBA Source

Detail

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  • Base System Features Specifications
    EBA Source Type RF EBA Source
    Beam Aperture Ø60, Ø120, Ø150, Ø200
    Beam Energy ~5Kev
    Gas Flow 2~15sccm
    Gas Use Reactive & Inert gas
    Cooling type & Connection Water Cooling, ¼” VCR connection
    Mpunting Flange ISO 160 ~ISO 300
    Weight 4~15 Kg